近日,韩国某半导体制造企业采购部发邮件告知,其在洛阳薄壁精密轴承有限公司定制的型号为SB0080XP5不锈钢等截面薄壁轴承在晶圆清扫设备中完成了连续无故障运行测试(企业要求3-5万小时),助力设备月稼动率从82%跃升至90%,创下该企业产线效率新纪录。这一突破性进展标志着国产高精密轴承在半导体核心设备领域实现进口替代,并获国外客户认可。
洛阳薄壁精密轴承有限公司自成立之初,即将产品重 心放在了开发生产等截面薄壁轴承上,经过十多年的发展,企业研发能力得以增强,企业的生产也从最初的只生产标准型号到来图定制。
SB0080XP5是洛阳薄壁精密轴承专为晶圆设备苛刻工况定制的产品,其标准型号结构为:内径165.1mm、外径180.975mm、厚度7.938mm,定制产品采用SUS440C不锈钢材质,不锈钢密封,混合球结构,实现了零颗粒污染,满足了制程晶圆表面零缺陷要求;耐腐蚀升级,寿命较传统轴承提升3倍;同时,其超低摩擦扭矩,降低机械臂电机负载。
在韩国工厂的实测中,SB0080XP5展现出可靠性:MTBF(平均无故障时间)达到了企业要求的标准,设备稼动率得到了8%的提升。
“SB0080XP5的稳定性远超预期!”该企业采购部朴部长表示,“测试数据证实,洛阳薄壁轴承的性能可对标美系品牌,而成本优势显著。我们计划于本季度签署连续供货协议并建立战略库存,以保障产线扩产需求。”
洛阳薄壁精密轴承有限公司技术杨总监指出:“SB0080XP5的成功验证了国产轴承‘ji
薄、ji净、ji稳’的技术路线。随着全球半导体设备需求激增,我们已启动陶瓷混合轴承(Si3N4球)与智能传感轴承的研发,赋能客户向2nm及以下先进制程冲刺。”